一是光刻技术,二是单晶硅棒拉取。
从沙石原料再到冶金级硅、电子级硅,原材料会被不断提纯,最后形成高纯度的多晶硅,但要变成单晶硅,还要过熔化各种工序。
晶圆,可少不了单晶硅。
单晶硅要在直拉法等工艺下形成单晶硅棒,再通过切断、滚磨、切片、倒角、抛光、激光刻等工序,才会形成硅片。
为了不被卡脖子,复芯这些年累计投入3亿美刀,跟华陆公司几家guo企合资成立——
硅集团!
不仅攻克多晶硅冷氢化、还原炉、精馏等多项核心技术难关,技术和生产设备也慢慢国产化,而且在单晶硅上也有完整的产品线。
从热场设计到工艺模拟,再到拉晶调试,得到了150毫米(6英寸)、200毫米(8英寸)的技术授权,不过唯一美中不足的就是,
90n以上制程的芯片用的是200及以下尺寸的硅片,90n以下的芯片,65n也好,40/45n也罢,主要是300。
“复芯是怎么做到的?”
沙领导难以置信,逻辑、复芯、长江存储和澎湃,简直从上到下把半导体行业布局了个遍。
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